구리 타겟은 일련의 가공 후 특정 크기와 모양의 고순도 구리 재료인 진공 코팅 산업의 스퍼터링 타겟의 일종입니다. 많은 우수한 특성을 가진 고순도 구리는 전자, 통신, 초전도, 항공 우주 및 기타 분야에서 광범위하게 사용되었습니다.
구리 타겟의 물리적 특성
밀도: 8.92g/cm³
색상: 자줏빛이 도는 빨간색
녹는점: 1083.4℃
끓는점: 2567℃。
구리 타겟은 DC 바이어스 전압 2극 스퍼터링, 3극 스퍼터링, 4극 스퍼터링, RF 스퍼터링, 대향 타겟 스퍼터링, 이온 빔 스퍼터링, 마그네트론 스퍼터링 등에 적합합니다. 반사 필름, 전도성 도금에 사용할 수 있습니다. 필름, 반도체 필름, 캐패시터 필름, 장식 필름, 보호 필름, 집적 회로, 디스플레이 등. 다른 타겟에 비해 구리 타겟은 저렴하므로 필름 층의 기능을 달성할 수 있는 경우 선호되는 타겟입니다.
구리 대상의 분류
구리 타겟에는 평면 구리 타겟과 회전 구리 타겟이 포함됩니다.
평면 구리 타겟은 원형 또는 사각형 시트 등이 될 수 있습니다.
회전식 구리 타깃은 관형으로 활용도가 높지만 제작이 쉽지 않다. 회전동 타깃은 압출, 연신, 교정, 열처리, 가공 등의 일련의 가공을 통해서만 고순도 동으로 만들 수 있습니다.